这话没说出口，但中科院用行动说得比谁都响。3月25号这天，他们官宣搞定了一项狠活：全固态深紫外激光技术，能稳定输出193纳米的激光。这玩意儿可不是拿来照灯的，是造芯片的关键设备光源之一，直接影响你手机、电脑、汽车芯片到底能不能用上高性能核心。

“图纸给你们也造不出！ ”这是ASML曾对中国芯片专家的嘲讽。然而2025年3月25日，中国科学院宣布的固态深紫外（DUV）激光技术，不仅让这句傲慢的预言沦为笑柄，更意味着中国半导体产业正式向3nm工艺发起冲锋。

我国EUV光源为何14年难攻克？ASML技术困局深度拆解 ...

2023年，面对美国对华变本加厉的光刻机制裁，荷兰阿斯麦尔光刻机巨头温宁克在接受电视采访时以饱含愤怒的口吻称，孤立中国是没有希望的，因为14亿中国人非常聪明，他们会想出我们想不出的办法。如今这句话被验证了。一家新公司——新凯来此次携EPI“峨眉山”、 ...

不过相信大家也看出来了，这种全固态DUV光源技术虽然在光谱纯度上已经和商用标准相差无几，但是输出功率、频率都还低得多。 对比ASML的技术 ...

ASML的担忧似乎成真了。ASML首席执行官曾表示，美国的制裁可能会促使中国自主研发出先进的技术。当时许多人认为这只是恭维之词，甚至有人觉得他是为了销售光刻机而吹捧中国。然而，不到两年时间，国产光刻机再次实现了重大突破。

For some of the most expensive things in the world, tariffs won’t matter much. Dutch chip-equipment giant ASML is the only company in the world capable of making machines that are indispensable ...

提及ASML的EUV光刻机，首先从技术层面看，其技术的核心在于利用13.5纳米波长的极紫外光，通过激光驱动等离子体（Laser-Produced Plasma, LPP）生成光源 ...

ASML’s current share buyback program was announced on 10 November 2022, and details are available on our website at https://www.asml.com/en/investors/why-invest-in ...

中国科学院已成功研发出全固态深紫外（DUV）光源技术，能够发射193纳米波长的相干光，与当前主流DUV光刻技术的光源波长一致。 不过，当前原型机的平均功率（70mW）和频率（6kHz）仍远低于商用标准（ASML的100-120W、8-9kHz），且需进一步解决功率提升、系统集成和工艺适配等挑战。