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英特尔前技术长兼执行长基辛格(Pat Gelsinger) 现担任xLight的执行董事长,这是一家开发自由电子雷 (FEL)技术作为极紫外线(EUV)曝光系统光源的新创公司。 基辛格在LinkedIn中写道:作为我在Playground ...
到了2025年,中国科研团队在全固态激光技术的深紫外光(DUV)光源系统上取得重大进展,这种光源的波长为193纳米,理论上可支持高达3纳米制程的芯片制造。
我国EUV光源为何14年难攻克?ASML技术困局深度拆解 ...
中国科学院已成功研发出全固态深紫外(DUV)光源技术,能够发射193纳米波长的相干光,与当前主流DUV光刻技术的光源波长一致。 不过,当前原型机的平均功率(70mW)和频率(6kHz)仍远低于商用标准(ASML的100-120W、8-9kHz),且需进一步解决功率提升、系统集成和工艺适配等挑战。
关税冲击下中美贸易未来如何发展!2025年4月4日,清明节,中国国务院关税税则委员会发布了一则公告,宣布自4月10日起对原产于美国的所有进口商品加征34%的关税。这一反制措施不仅是对美国单边霸凌行为的强硬回击,也暗含重构全球贸易规则的战略深意。这场被 ...
导读1—2月规上电子信息制造业增加值同比增长10.6%。 【智慧城市网 市场分析】1—2月,我国电子信息制造业生产增长较快,出口持续回升,效益有所下滑,投资增速小幅回落,行业整体发展态势良好。 2025年1—2月电子信息制造业运行情况 ...
ASML对中国DUV的嘲讽日益变得可笑,今天我们说说这事,可以从以下几个角光刻机寓言度: 一、从“拿到图纸也造不出”到“独辟蹊径”:中国光刻技术的绝地反击。2018年,ASML的高层曾趾高气扬地宣称:“就算把图纸给中国,他们也造不出光刻机。” ...
2023年,面对美国对华变本加厉的光刻机制裁,荷兰阿斯麦尔光刻机巨头温宁克在接受电视采访时以饱含愤怒的口吻称,孤立中国是没有希望的,因为14亿中国人非常聪明,他们会想出我们想不出的办法。如今这句话被验证了。一家新公司——新凯来此次携EPI“峨眉山”、 ...
中科院成功研发出了全固态DUV光源技术,这项技术可以用于制造3nm芯片,并且得到了国际光电工程学会的认可。这一突破迅速引起了芯片行业的关注,因为它与ASML的技术路线完全不同,打破了 ...
三、应用领域与产业意义 半导体光刻:DUV光刻是制造28nm及以上制程芯片的关键设备(如ASML的DUV光刻机)。全固态光源的研发虽不等同于EUV(极紫外)光刻突破,但可为国内成熟制程芯片生产提供 ...
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